Özet
Kitle akım ölçeği, yarı iletken üretim ekipmanlarının çok önemli bir parçasıdır. Çalışmasının istikrarı, yarı iletken sürecinin başarısızlığının önemli bir faktörü olma eğilimindedir.
HORIBA STEC, Dünya çapında %35'in üzerindeki pazar payı olan*1 akım ölçeri üreticisi olarak uzun süredir yarı iletken endüstrisi için yüksek kaliteli ve çok yönlü ürünler sunuyoruz. Şimdi HORIBA STEC, tamamen yeni bir teknoloji ile küresel olarak yeni bir kalite akış kontrolörü sunuyor: Z500 serisi.
Eski modellere kıyasla, Z500X serisi tamamen yeni bir atılım sağladı ve akış kontrol teknolojisinin geleceğini değiştirecek. Müşterilerin akış kontrolü için ihtiyaç duyduğu tüm fonksiyonları sağlarken, kompozit gaz, kompozit akış dönüşümü gerçekleştirilir. Müşteriler, işlem ihtiyaçlarına göre akım ölçeği gazının türünü ve ölçeme aralığını kolayca değiştirebilirler*2.
Ayrıca, ürün malzemelerindeki teknolojik yenilikler sayesinde, Z500 serisi, RoHS yeşil ürünlerinin tasarım gereksinimlerini tam olarak karşılar ve müşteriler için ürün değerini artırır.
Yüksek performanslı Z500 serisi akım ölçeri size daha fazla sürpriz getirecek. Dünya, yarı iletken endüstrisinin tamamını değiştirecek bu yeni kütle akım ölçeğinin doğuşuna tanıklık ediyor.
*1 VLSI'nin 2007 araştırmasına bakın.
*2 Kompozit gaz, kompozit akış fonksiyonu.
Özellikler
Yüksek hassasiyet: ±% 1.0 akış değerini ayarlayın.
MFC'nin doğrusal hassasiyeti, çeşitli kontrol aralıklarında yüksek kontrol hassasiyeti sağlayan çoklu yaklaşım eğrisi ile telafi edilir. Çeşitli gerçek gaz türlerinin kontrol hassasiyetini iyileştirmek için HORIBA STEC, standart bir gaz ölçüm sistemi geliştirdi ve çok sayıda deneye dayanarak çeşitli proses gazları için kalibrasyon verileri topladı.
Yüksek Hızlı Yanıt
SEC-Z500X, en son geliştirilen "değiştirilebilir PID" sistemini kullanarak, herhangi bir iki ayar akış noktası arasındaki değişikliklerin 1 saniye içinde yapılmasını sağlar. Farklı akışlar ayarlandığında, PID verileri otomatik olarak ayarlanır ve gaz türü ve akış aralığı değiştikten sonra bile PID verileri otomatik olarak yüksek hızlı yanıt sağlamak için optimize edilir.
Kompozit Gaz, Kompozit Akış
HORIBA STEC'in yeni ürünleri, müşterilerin gaz türünü ve akışını sahada kolayca değiştirmelerini sağlar. Z500 kurulum yazılımımız kolay ve kullanımı kolaydır. Daha da iyisi, bu değişikliklerin tamamlanması için MFC'yi sistemden çıkarmak bile gerekmez. Böylece, müşteri yedek parçalarının miktarını önemli ölçüde azaltmak ve aynı zamanda zaman ve maliyet tasarrufu sağlamak mümkündür.
Ürün ve Diğer