Genelİstiyorum.
HORIBA SEC-E50'nin-
Başlıca kullanım:
-
Özellikler
SEC- (Kütle Akışı Kontrolörü)
E50
Uygulanabilir Gaz Türü*1
Korozif olmayan gazlar (MK3 modeli N2, O2, hava, H2、Ar、He)
Gaz Teması Malzemeleri
SUS316L. Florür kauçuk. PTFE、 Manyetik paslanmaz çelik
Vana Modeli
Elektrik olmadığında kapatılır
Standart akış aralığı (N2 karşılık F.S.)
20/30 SLM
Akış Kontrol Aralığı
(SEC Serisi için uygundur)% 2-100 FS
Akış ölçüm aralığı
(SEF serisi için uygundur)% 0-100 FS
Yanıt hızı
1 saniye içinde (T98)
Akış Hassasiyeti
±% 1 FS
Doğrusal
±% 0,5 FS
Tekrarlanma
±% 0,2 FS
Çalışma Farklı Basınç Değeri
(SEC Serisi için uygundur)10 SCCM-5 SLM: 50-300kPa (d) 10? 30 SLM: 100-300kPa (d)
Basınç Kullanımı
(SEF serisi için uygundur)300 kPa (G) altında
Basınca dayanıklı
1 MPa (G) altında
Dış sızıntı oranı
1 × 10-8Pa / m3 / s (He) altında
Çevre Sıcaklığı Kullanımı
5? 50 ℃ (Hassasiyetin sağlanması: 15-35 ℃)
Trafik Ayarı Sinyali
0.1-5VDC (giriş impedansı 1MΩ'dan fazla) / 2-100% FS
Trafik Çıkış Sinyali
0-5VDC (minimum yük direnci 2kΩ)
Sürücü güç kaynağı
+ 15VDC ±% 5 50mA -15VDC ±% 5 150mA 3VA
+ 15VDC ±% 5 50mA -15VDC ±% 5 200mA 3.9VA
Standart bağlantı*2
1/4SWL Türü
-
Teknik Özellikler
*1: Kayıt dışındaki gaz türleri için ayrı danışmanlık yapın.
*2 Standart bağlantı dışındaki bağlantılar da uygulanabilir. Lütfen başka bir danışmanlık yapın.
SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3 otomatik sıfırlama özelliğine sahiptir.
Giriş basıncı SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3: Maksimum 300 kPa (G); SEC-70/80: Maksimum değer 350 kPa(G) altında.
* SCCM, SLM, gazın akış birimini (mL / min, L / min, at, 0 ℃, 101.3kPa) gösteren işaretlerdir.
Endüstriyel fırınlar, ısıl işleme fırınları için yanılabilir gaz kontrolü
İğne kaynaklı yanılabilir gaz kontrolü
Hidrojen, oksijen, propan ve argon gibi çeşitli yanılabilir gazların akış kontrolü
Temizleme gazının akış kontrolü
Deney cihazlarındaki gaz akışı kontrolü
Otomasyon gerektiren akış kontrol cihazları
Tüketilen toplam trafiği anlamak isteyen cihazlar vb.
Özellikleri:
Büyüme ve fiyat ile küçük trafikten büyük trafiğe kadar kontrol;
Yüksek hızlı yanıt, 1 saniye içinde trafik ayarlarına ulaşılır. En son tasarlanmış kontrol döngüsü ve yüksek hızlı tepki akış sensörü ile donatılmış, alınan elektrik sinyallerine göre, akışın ilk istikrarı daha iyi ve akış değişikliklerinin uygulanması yoluyla her zaman istikrarlı bir akış kontrol edilebilir. (Büyük Akım Uygulama Modeli: SEC-E80 2 saniye içinde)
Yüksek hassasiyet, ±% 1.0 FS
Yüksek güvenilirlik, otomatik sıfırlama
Doğru kalite akışı kontrolü; Kütle akışı kontrolörü olarak adlandırılan kütle akışını ölçen ve alınan elektrik sinyaline göre otomatik olarak herhangi bir akışı gerçekleştirebilen bir kontrolördür. Bu nedenle, kullanım ortamında (sıcaklık, basınç gibi) değişiklikler olsa bile, düzeltmeye gerek yoktur ve doğru bir kalite akışı kontrolü yapılabilir.
Otomatik akış fonksiyonu valfı; Akış kontrol valfı otomatik akış fonksiyonu fonksiyonel kontrol tipi kullanıldığı için, gövde güç kaynağı yokken, valf otomatik olarak kapalı duruma ayarlanacaktır. Elektrik kesintisi sırasında da akışı en aza indirebilirsiniz.
Çalışma prensipi:
1. Girişten gelen gaz akış sensörüne ve geçiş noktasına yönlendirilir.
2, sensör aracılığıyla kütle akışı oranına göre oluşturulan sıcaklık değişikliği bilgisi alınır ve devrede elektrik sinyaline değiştirilir.
Sinyal, artış döngüsü, düzeltme döngüsü, 0-5V doğrusal elektrik sinyali ile dışarıya çıkıyor ve diğer taraftan karşılaştırma kontrol döngüsüne giriyor.
4. Dışarıdan alınan ayar sinyali ve sensörden alınan akış sinyali, karşılaştırma devresinde farklılık sinyali oluşturur ve sonraki valf tahrik devresine gönderilir.
5, akış kontrol valfı mümkün olduğunca fark sinyali "0" olacaktır, böylece akış her zaman ayarlama akışında kontrol edilir.
