Ölçüm gereksinimleri
Film üzerinde yapıştırıldıktan sonra sıkıştırılan bölgenin farkını ölçer

Ana Özellikler Genel Bakış
1. temas olmayan ölçüm, entegre tasarım

2. Üç boyutlu profil tarama, çok işlevli veri işleme
3. Çeşitli malzemeler için doğru ölçüm için uygulanır

4. Kullanımı kolay, montaj kolay

5. Hızlı tarama, yüksek konumlama hassasiyeti

6. ± 0.5 ila ± 1μm Tekrarlama Hassasiyeti Garanti

7. Yüksek istikrar, güçlü müdahale dayanıklılığı

Ölçüm Sonuçları
Yaklaşık 7 μm ± 1 μm

Şu aşamadaki ölçüm cihazlarındaki sorunları çözmek

1. Ölçüm malzemeleri için belirli gereksinimler vardır
2. temas ölçümü, ölçüm malzemesine hasar
3. Küçük ölçüm aralığı, konum belirsiz, ölçüm zorluğu
4. Yavaş ölçüm hızı, düşük hassasiyet, büyük ölçüm hatası

5. Karmaşık yapı, yüksek maliyet